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Union DH2-AM 高精度自动深度测量显微镜
DH2-AM 是计算机控制自动高度、深度测量系统。集成了高精度的图像自动聚焦,高精密的脉冲移动平台和HISOMET-II (DH2)的光学系统。
◎ 高精度的图像自动聚焦系统的测量结果和精确度是很可靠的,没有人为的因素。
◎ 通过计算机控制,可以完成多点的自动连续测量,高级的数据处理软件可以极大的提高测量时间。
功能:
非接触测量微细的撞击、台阶等。
◎ 通过高精度的光学聚焦点检测和精确的聚 焦指示器完成高精确的测量
◎ 简单的操作
◎ Z轴测量行程可从几个μm 到10mm
◎ 同时还可以完成测量点的表面观察
观 测 头: 三目
Z轴测量范围: 0.1μm 读数,10mm 行程
Z轴测量精度: 3σ=1μm (40×)
光学镜身: 精确的自动聚焦单元
物 镜: 5× - 100×
测量软件: 4种模式
数据处理软件: 显示最大值,最小值,平均值,标准偏差值等
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